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静电过滤器可以除硅粉吗?

发布日期:2021-06-11

  由于目前滤芯使用条件下,未冷却硅尘极为细小,质量极轻,易浮于太空,增大空间内的粉尘密度,且氩气流量每分钟*100ml,流速极低,除尘器选型受物理条件限制,而且,还会由于粉尘比电阻等特性影响除尘效率,使用湿式除尘可能使吸尘器进入真空泵而影响吸尘器寿命,袋式除尘器虽可捕集细粉、干粉,其除尘效率也很高,但由于空间有限,粉尘密度继续升高,滤孔易堵塞,造成单晶炉出气流量下降,降低了单晶炉的产量。

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  无论过滤方式如何,无非是一种对静电的消除和导走,如果你说的是对静电的消除和导走,那么需要借助一根静电消除棒或对静电的导走,如对静电的毛刷类的导走,这样做比较简单;如果是对静电的导走,如静电绳,静电毛刷类的导走;

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